雷射氣體

ArF 193nm

準分子雷射散發的紫外光，擁有高光子能量以及非常高的尖峰功率。適用於半導體DUV(深紫外光微影)黃光製程。

多種鋼瓶尺寸供客戶選擇

台灣在地化充填交期迅速
專業儀器分析原料及產品
提供產品成分分析報告

產業應用 :

晶圓製造產業

氣體與對應鋼瓶規格

ArF

ArF(193nm)

充填氣體	容器種類	容器容積	閥頭種類	充填量
F2/Ar/Ne	Cylinder	49L	DISS718	7,500L
F2/Ar/Ne	Cylinder	49L	DISS718	6,000L
Ar/Xe/Ne	Cylinder	49L	DISS718	7,500L
Ar/Xe/Ne	Cylinder	49L	DISS718	6,000L

客戶服務

專責運輸，７＊２４小時服務，安全迅速。
緊急應變，快速支援。

相關產品

想了解更多 ?

如果您需要有關此產品的更多信息或報價，我們將盡快回覆您

聯絡我們