雷射氣體

KrF 248nm

準分子雷射散發的紫外光，擁有高光子能量以及非常高的尖峰功率。適用於半導體DUV(深紫外光微影)黃光製程。

多種鋼瓶尺寸供客戶選擇

台灣在地化充填交期迅速
分析儀器原料、產品全檢
提供成品生產履歷報告

產業應用 :

晶圓製造產業

氣體與對應鋼瓶規格

KrF

KrF(248nm)

充填氣體	容器種類	容器容積	閥頭種類	充填量
F2/Kr/Ne	Cylinder	49L	DISS718	7,500L
F2/Kr/Ne	Cylinder	49L	DISS718	6,000L
Kr/Ne	Cylinder	49L	DISS718	7,500L
Kr/Ne	Cylinder	49L	DISS718	6,000L

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專責運輸，７＊２４小時服務，安全迅速。
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