低溫多晶矽（LTPS）的生產過程中， 需要採用準分子雷射作為熱源，雷射經過透射系統後，會產生能量均勻的雷射束投射於非晶矽結構的玻璃基板上，當非晶矽結構的玻璃基板吸收準分子雷射的能量後，會轉變為多晶矽結構。整個低溫多晶矽結構的製程溫度都低於攝氏600度，適用於玻璃基板及柔性塑膠板。
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