chemical-vapor-deposition-gas-nf3

電子清潔氣體

Nitrogen Trifluoride (NF3)

三氟化氮是在半導體與液晶面板生產製造領域中是重要的清潔氣體，用於清潔機台內部製程後表面產生的矽化物。

  • 多種鋼瓶尺寸與ISO槽車包材供客戶選擇
  • 提供台灣在地化直接供貨與代工
產業應用 :
晶圓製造產業 面板產業
詢問函
規格

氣體與對應包材規格

鋼瓶
容器種類 容器容積 閥頭種類 充填量
ISO Tube Trailer 20ft ISO Tube CGA/DISS640 4,000kg
ISO Tube Trailer 40ft ISO Tube CGA/DISS640 8,000kg
Y-Cylinder 440L CGA/DISS640 200kg
Cylinder 47L CGA/DISS640 20kg

客戶服務

  • 專責運輸，７＊２４小時服務，安全迅速。
  • 緊急應變，快速支援。

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